REACTIONS OF SILICON TETRACHLORIDE AND GERMANIUM TETRACHLORIDE WITH OXYGEN AND OXIDES OF NITROGEN

被引:4
作者
ATKINS, RM
HOBAN, VA
机构
关键词
D O I
10.1557/JMR.1989.0641
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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