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HIGH-TEMPERATURE PROCESSING OF CZ SILICON SUBSTRATES - DEFECTS, DENUDED ZONES, AND MINORITY-CARRIER LIFETIME
被引:0
作者
:
ROZGONI, GA
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0
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0
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机构:
N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MAT ENGN,RALEIGH,NC 27695
ROZGONI, GA
YONG, DK
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N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MAT ENGN,RALEIGH,NC 27695
YONG, DK
CAO, YH
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N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MAT ENGN,RALEIGH,NC 27695
CAO, YH
RADZIMSKI, Z
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RADZIMSKI, Z
CHIOU, HD
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N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MAT ENGN,RALEIGH,NC 27695
CHIOU, HD
机构
:
[1]
N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MAT ENGN,RALEIGH,NC 27695
[2]
MANSANTO ELECTR MAT CO,ST PETERS,MO 63376
来源
:
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
|
1986年
/ 133卷
/ 11期
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
:
081704 ;
摘要
:
引用
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页码:C445 / C445
页数:1
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