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TREATMENT OF POLYMERS USING EXCIMER LASERS
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作者
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LAZARE, S
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LAZARE, S
BOLLE, M
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DRILHOLE, D
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DRILHOLE, D
MIHAILOV, S
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MIHAILOV, S
机构
:
来源
:
ANNALES DE PHYSIQUE
|
1994年
/ 19卷
/ 05期
关键词
:
D O I
:
10.1051/anphys/1994059
中图分类号
:
O4 [物理学];
学科分类号
:
0702 ;
摘要
:
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相关论文
共 18 条
[1]
Bachmann F., 1989, Chemtronics, V4, P149
[2]
LARGE-SCALE EXCIMER-LASER PRODUCTION OF SUBMICRON PERIODIC STRUCTURES ON POLYMER SURFACES
BOLLE, M
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机构:
Laboratoire de Photophysique et Photochimie Moléculaire, URA CNRS 348, Université de Bordeaux 1, F-33405 Talence, 351, Cours de la Libération
BOLLE, M
LAZARE, S
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Laboratoire de Photophysique et Photochimie Moléculaire, URA CNRS 348, Université de Bordeaux 1, F-33405 Talence, 351, Cours de la Libération
LAZARE, S
[J].
APPLIED SURFACE SCIENCE,
1993,
69
(1-4)
: 31
-
37
[3]
CHARACTERIZATION OF SUBMICROMETER PERIODIC STRUCTURES PRODUCED ON POLYMER SURFACES WITH LOW-FLUENCE ULTRAVIOLET-LASER RADIATION
BOLLE, M
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UNIV BORDEAUX 1, PHOTOCHIM & PHOTOPHYS MOLEC LAB,CNRS,URA 348, 351 COURS LIBERAT, F-33405 TALENCE, FRANCE
UNIV BORDEAUX 1, PHOTOCHIM & PHOTOPHYS MOLEC LAB,CNRS,URA 348, 351 COURS LIBERAT, F-33405 TALENCE, FRANCE
BOLLE, M
LAZARE, S
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LAZARE, S
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1993,
73
(07)
: 3516
-
3524
[4]
SUBMICRON PERIODIC STRUCTURES PRODUCED ON POLYMER SURFACES WITH POLARIZED EXCIMER LASER ULTRAVIOLET-RADIATION
BOLLE, M
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UNIV BORDEAUX 1, PHOTOCHIM & PHOTOPHYS MOLEC LAB,CNRS,URA 348, 351 COURS LIBERAT, F-33405 TALENCE, FRANCE
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LAZARE, S
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LAZARE, S
[J].
APPLIED SURFACE SCIENCE,
1993,
65-6
(1-4)
: 349
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WILMES, A
[J].
APPLIED PHYSICS LETTERS,
1992,
60
(06)
: 674
-
676
[6]
BOLLE M, 1994, THESIS U BORDEAUX
[7]
BOLLE M, 1994, IN PRESS POLYIMIDES
[8]
BOLLE M, 1994, AIP CONF P, V288, P550
[9]
FISHER G, Patent No. 4225546
[10]
APPLICATIONS OF DOPING AND DEDOPING OF TEFLON AF FILMS IN MICROFABRICATION USING KRF AND ARF EXCIMER LASERS
HIRAOKA, H
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Laboratoire de Photophysique et Photochimie Moleculaire, URS CNRS n 348, Université de Bordeaux 1
HIRAOKA, H
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APPLIED SURFACE SCIENCE,
1990,
46
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共 18 条
[1]
Bachmann F., 1989, Chemtronics, V4, P149
[2]
LARGE-SCALE EXCIMER-LASER PRODUCTION OF SUBMICRON PERIODIC STRUCTURES ON POLYMER SURFACES
BOLLE, M
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Laboratoire de Photophysique et Photochimie Moléculaire, URA CNRS 348, Université de Bordeaux 1, F-33405 Talence, 351, Cours de la Libération
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LAZARE, S
[J].
APPLIED SURFACE SCIENCE,
1993,
69
(1-4)
: 31
-
37
[3]
CHARACTERIZATION OF SUBMICROMETER PERIODIC STRUCTURES PRODUCED ON POLYMER SURFACES WITH LOW-FLUENCE ULTRAVIOLET-LASER RADIATION
BOLLE, M
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LAZARE, S
[J].
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS,
1993,
73
(07)
: 3516
-
3524
[4]
SUBMICRON PERIODIC STRUCTURES PRODUCED ON POLYMER SURFACES WITH POLARIZED EXCIMER LASER ULTRAVIOLET-RADIATION
BOLLE, M
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LAZARE, S
[J].
APPLIED SURFACE SCIENCE,
1993,
65-6
(1-4)
: 349
-
354
[5]
SUBMICRON PERIODIC STRUCTURES PRODUCED ON POLYMER SURFACES WITH POLARIZED EXCIMER LASER ULTRAVIOLET-RADIATION
BOLLE, M
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WILMES, A
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UNIV BORDEAUX 1, PHOTOCHIM & PHOTOPHYS MOLEC LAB,CNRS,URA 348, 351 COURS LIBERAT, F-33405 TALENCE, FRANCE
WILMES, A
[J].
APPLIED PHYSICS LETTERS,
1992,
60
(06)
: 674
-
676
[6]
BOLLE M, 1994, THESIS U BORDEAUX
[7]
BOLLE M, 1994, IN PRESS POLYIMIDES
[8]
BOLLE M, 1994, AIP CONF P, V288, P550
[9]
FISHER G, Patent No. 4225546
[10]
APPLICATIONS OF DOPING AND DEDOPING OF TEFLON AF FILMS IN MICROFABRICATION USING KRF AND ARF EXCIMER LASERS
HIRAOKA, H
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Laboratoire de Photophysique et Photochimie Moleculaire, URS CNRS n 348, Université de Bordeaux 1
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Laboratoire de Photophysique et Photochimie Moleculaire, URS CNRS n 348, Université de Bordeaux 1
LAZARE, S
[J].
APPLIED SURFACE SCIENCE,
1990,
46
(1-4)
: 342
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