HIGH-VACUUM PLASMA PUMP

被引：0
作者：
DORODNOV, AM
MINAICHEV, VE
MIROSHKIN, SI
机构：
来源：
INSTRUMENTS AND EXPERIMENTAL TECHNIQUES | 1980年 / 23卷 / 06期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：1449 / 1452
页数：4
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共 3 条
[1]  
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