EXPERIMENTAL-CONDITION DEPENDENCE OF PHOSPHORUS DIFFUSIVITY IN SILICON

被引：19

作者：

GHOSTAGORE, RN

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRevLett.25.856

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

引用

页码：856 / +

页数：1

共 5 条

[1]

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