ELECTRICAL-PROPERTIES OF PLASMA POLYMERIZED THIN-FILMS DEPOSITED AT HIGH SUBSTRATE-TEMPERATURE

被引：0
|
作者：
SADHIR, RK
SAUNDERS, HE
SCHOCH, KF
BENNETT, AI
机构：
来源：
PROCEEDINGS OF THE 19TH ELECTRICAL ELECTRONICS INSULATION CONFERENCE | 1989年
关键词：
D O I：
10.1109/EEIC.1989.208198
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
引用
收藏
页码：83 / 87
页数：5
相关论文
共 50 条
12345