APPLICATION OF CRYOPUMPS IN INDUSTRIAL VACUUM TECHNOLOGY

被引：0

作者：

SCHEER, JJ

VISSER, J

机构：

来源：

PHILIPS TECHNICAL REVIEW | 1980年 / 39卷 / 09期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：246 / 255

页数：10

共 6 条

[1]

HAARHUIS GJ, 1974, VIDE, V29, P351

[2] CRYOPUMPING [J].

HOBSON, JP .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1973, 10 (01) :73-79

[3]

PRAST G, 1965, PHILIPS TECH REV, V26, P1

[4]

VENEMA A, 1967, PHILIPS TECH REV, V28, P355

[5] 20-KELVIN CRYOPUMPING IN MAGNETRON SPUTTERING SYSTEMS [J].

VISSER, J ;

SCHEER, JJ .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1979, 16 (02) :734-737

[6] VERSATILE CRYOPUMP FOR INDUSTRIAL VACUUM-SYSTEMS [J].

VISSER, J ;

SYMERSKY, B ;

GERAERTS, AJM .