ELIMINATION OF BACKSTREAMING FROM MECHANICAL VACUUM PUMPS

被引：8

作者：

HABLANIAN, MH ^{[1
]}

BEZ, E ^{[1
]}

FARRANT, JL ^{[1
]}

机构：

[1] CSIRO,DIV CHEM PHYS,MELBOURNE,VIC 3001,AUSTRALIA

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.574396

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：2612 / 2615

页数：4