DIFFERENTIAL ETCHING OF ION-IMPLANTED GARNET

被引：58

作者：

JOHNSON, WA ^{[1
]}

NORTH, JC ^{[1
]}

WOLFE, R ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1973年 / 44卷 / 10期

关键词：

D O I：

10.1063/1.1662031

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：4753 / 4757

页数：5

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