EFFICIENCIES OF INAS TRANSPORT AND EPITAXIAL-GROWTH BY CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION IN THE SYSTEM INAS-ASCL3-H2

被引:0
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作者
TRIFONOVA, EP
HITOVA, L
机构
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(88)90257-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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