MATRIX LENS ELECTRON-BEAM RECORDING-SYSTEMS

被引：0
作者：
PARKS, HG
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1978年 / 15卷 / 03期
关键词：
D O I：
10.1116/1.569730
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：1035 / 1038
页数：4
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