SILICON NITRIDE THIN FILM DIELECTRIC

被引：18
作者：
BARNES, CR
GEESNER, CR
机构：
来源：
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1960年 / 107卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1149/1.2427642
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
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页码：98 / 100
页数：3
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共 4 条
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