LOW-MOLECULAR WEIGHT POLYETHYLENE DEPOSIT IN RF DISCHARGE OF GAS

被引：0

作者：

ASHIDA, M ^{[1
]}

UEDA, Y ^{[1
]}

机构：

[1] KOBE UNIV,FAC ENGN,KOBE 657,JAPAN

来源：

JOURNAL OF ELECTRON MICROSCOPY | 1979年 / 28卷 / 03期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

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