PERFORMANCE OF MECHANICAL VACUUM PUMPS IN THE MOLECULAR-FLOW RANGE

被引：6

作者：

HABLANIAN, MH

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571112

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：250 / 252

页数：3

相关论文

共 5 条

HABLANIAN, MH .

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1981, 18 (03) :1156-1159

[2]

HABLANIAN MH, 1980, 8TH P INT VAC C S, V2

[3]

KRUGER CH, 1960, P AVS S, P12

[4]

LANDFORS AA, 1959, 5TH S VAC TECHN

[5]

WEISSLER GL, 1979, VACUUM PHYSICS TECHN, P118