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AUGER ANALYSIS OF THIN-FILM SANDWICH STRUCTURES
被引：2
作者：
NANDA, MM
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY
|
1978年
/
15卷
/
02期
关键词：
D O I：
10.1116/1.569492
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：248 / 248
页数：1
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