NANOMETER X-Y POSITIONING STAGES FOR SCANNING AND STEPPING

被引：4
作者：
CHITAYAT, A
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1116/1.584547
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：1412 / 1417
页数：6
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共 2 条
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