TRANSLATION STAGE FOR A SCANNING-X-RAY OPTICAL INTERFEROMETER

被引：12
作者：
BECKER, P
SEYFRIED, P
SIEGERT, H
机构：
来源：
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1987年 / 58卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1139308
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：207 / 211
页数：5
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