INTERRELATIONSHIPS BETWEEN PROCESS PARAMETERS, STRUCTURE, AND PROPERTIES OF CVD TUNGSTEN AND TUNGSTEN-RHENIUM ALLOYS

被引：38

作者：

HOLMAN, WR ^{[1
]}

HUEGEL, FJ ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF,LAWRENCE LIVERMORE LAB,LIVERMORE,CA 94550

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1312739

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：701 / 708

页数：8

共 20 条

BERKELEY, JF ;

BRENNER, A ;

REID, WE .

[2]

BRECHER LE, 1973, 4TH P INT C CHEM VAP, P340

[3]

CHEUNG H, 1972, 3RD P INT C CHEM VAP, P136

[4]

GEUS JW, 1971, CHEMISORPTION REACTI, pCH3

[5]

GLASKI FA, 1970, 2 INT C CVD LOS ANG, P839

[6]

GREEN JM, 1972, Patent No. 3661636

[7]

HASKELL RW, 1970, 2ND P INT C CHEM VAP, P63

[8] TENSILE TEST APPARATUS FOR SMALL RING SPECIMENS [J].

HOLMAN, WR ;

STILES, EB ;

FUNG, E .

JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 1967, 44 (07) :545-&

[9]

HOLMAN WR, 1971, 2 P INT C CHEM VAP D, P171

[10]

HOLMAN WR, 1967, P C CHEM VAP DEP REF, P427