EFFECT OF ADSORBED GASES ON CONDUCTANCE OF AMORPHOUS FILMS OF SEMICONDUCTING SILICON-HYDROGEN ALLOYS

被引:98
作者
TANIELIAN, M [1 ]
FRITZSCHE, H [1 ]
TSAI, CC [1 ]
SYMBALISTY, E [1 ]
机构
[1] UNIV CHICAGO,JAMES FRANCK INST,CHICAGO,IL 60637
关键词
D O I
10.1063/1.90335
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:353 / 356
页数:4
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