MEASUREMENT OF THE SHEET RESISTIVITY OF A SQUARE WAFER WITH A SQUARE 4-POINT PROBE

被引：40
作者：
KEYWELL, F
DOROSHESKI, G
机构：
来源：
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS | 1960年 / 31卷 / 08期
关键词：
D O I：
10.1063/1.1717065
中图分类号：
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号：
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要：
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页码：833 / 837
页数：5
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共 2 条
[1]  
ADAMS EP, MATH TABLES, V74, P130
[2]   MEASUREMENT OF SHEET RESISTIVITIES WITH THE 4-POINT PROBE [J].
SMITS, FM .
BELL SYSTEM TECHNICAL JOURNAL, 1958, 37 (03) :711-718
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