COLLISION THEORIES OF CATHODE SPUTTERING OF METALS AT LOW ION ENERGIES

被引：12

作者：

HENSCHKE, EB

机构：

来源：

PHYSICAL REVIEW | 1961年 / 121卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1103/PhysRev.121.1286

中图分类号：

O4 [物理学];

学科分类号：

0702 ;

摘要：

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页码：1286 / &

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