NEW METHOD OF LIGHT-INDUCED DEPOSITION OF METAL-FILMS ON INSULATOR-ON-SEMICONDUCTOR SUBSTRATES

被引：4

作者：

KRAWCZYK, SK

KUMAR, SN

机构：

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1987年 / 50卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1063/1.97665

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：215 / 217

页数：3

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