UNDERSTANDING OF SURFACE-CHEMISTRY OF III-V METALORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION REACTANTS

被引：0
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作者：
LUTH, H
机构：
来源：
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1989年 / 7卷 / 03期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TB3 [工程材料学];
学科分类号：
0805 ; 080502 ;
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页数：5
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