A NEWLY DEVELOPED MAGNETRON SPUTTER COATER

被引：0

作者：

ADACHI, S

OKUTOMI, S

OGURA, K

机构：

[1] JEOL LTD,TOKYO 196,JAPAN

[2] JEOL ENGN CO LTD,TOKYO 196,JAPAN

来源：

JOURNAL OF ELECTRON MICROSCOPY | 1988年 / 37卷 / 05期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：260 / 261

页数：2

相关论文

empty

未找到相关数据