ULTRA-PURE PROCESSING - AN ENABLING TECHNOLOGY FOR ULSI

被引：0
作者：
BAKER, E [1 ]
CURRENT, M [1 ]
机构：
[1] APPL MAT INC,DIV IMPLANT,SANTA CLARA,CA 95054
来源：
SOLID STATE TECHNOLOGY | 1989年 / 32卷 / 10期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
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页码：91 / 94
页数：4
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