PREPARATION AND PROPERTIES OF AMORPHOUS SILICON NITRIDE FILMS

被引：111

作者：

CHU, TL

LEE, CH

GRUBER, GA

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2426715

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：717 / &

共 17 条

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