ABSORPTION OF NITROGEN AND OXYGEN BY VAPOR-DEPOSITED TANTALUM FILMS

被引：17

作者：

BAUDER, U ^{[1
]}

FROMM, E ^{[1
]}

机构：

[1] MAX PLANCK INST MET FORSCH,INST WERKSTOFF WISSENSCH,STUTTGART,FED REP GER

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0039-6028(75)90070-9

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：415 / 425

页数：11

共 35 条

[1]

AGEEV VN, 1971, FIZ TVERD TELA+, V13, P1305

[2]

BAUDER U, 1969, THESIS U STUTTGART

[3]

BAUDER U, 1973, THESIS U STUTTGART

[4]

Berry R.W., 1968, THIN FILM TECHNOLOGY

[5]

BOGGIO JE, 1964, SURF SCI, V3, P62

BRENNAN, D ;

HAYWARD, DO ;

TRAPNELL, BMW .

PROCEEDINGS OF THE ROYAL SOCIETY OF LONDON SERIES A-MATHEMATICAL AND PHYSICAL SCIENCES, 1960, 256 (1284) :81-105

[7]

Cabrera N., 1949, REP PROG PHYS, V12, P308

[8]

DUPPEL H, 1974, THESIS U STUTTGART

[9]

EHRLICH G, 1956, J PHYS CHEM SOLIDS, V1, P1

[10]

FISCHER K, 1970, Z METALLKD, V61, P710