RECOIL CONTRIBUTION TO ION-IMPLANTATION ENERGY-DEPOSITION DISTRIBUTIONS

被引:97
作者
BRICE, DK [1 ]
机构
[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115
关键词
D O I
10.1063/1.322243
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3385 / 3394
页数:10
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