RECOIL CONTRIBUTION TO ION-IMPLANTATION ENERGY-DEPOSITION DISTRIBUTIONS

被引：97

作者：

BRICE, DK ^{[1
]}

机构：

[1] SANDIA LABS,ALBUQUERQUE,NM 87115

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.322243

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3385 / 3394

页数：10

共 25 条

[1]

BOGH E, 1970, 1ST P INT C ION IMPL, V77, P431

BOTTIGER, J ;

EISEN, FH .

[3]

Brice D. K., 1970, Radiation Effects, V6, P77, DOI 10.1080/00337577008235048

BRICE, DK .

[5]

BRICE DK, 1971, SCRR710599 SAND LAB

[6]

BRICE DK, 1973, 3RD P INT C ION IMPL, P171

[7]

BRICE DK, 1975, ION IMPLANTATION RAN

[8]

BRICE DK, 1974, 4TH P INT C ION IMPL

[9]

BRICE DK, 1971, RADIAT EFF, V11, P227

FURUKAWA, S ;

ISHIWARA, H .