DIFFUSION MASKING OF SILICON NITRIDE AND SILICON OXYNITRIDE FILMS ON SI

被引：25

作者：

HEUMANN, FK

BROWN, DM

METS, E

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2411034

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：99 / &

相关论文

共 5 条

[1]

BROWN DJ, TO BE PUBLISHED

[2] PREPARATION AND PROPERTIES OF AMORPHOUS SILICON NITRIDE FILMS [J].

CHU, TL ;

LEE, CH ;

GRUBER, GA .

[3] SILICON NITRIDE A NEW DIFFUSION MASK [J].

DOO, VY .

[4] PROPERTIES OF AMORPHOUS SILICON NITRIDE FILMS [J].

HU, SM .

[5]

THOMAS RC, 1967, MAY DALL M SOC