STUDY OF THE STEPWISE OXIDATION AND NITRIDATION OF SI(111) BY ELECTRON-STIMULATED DESORPTION AND AUGER-SPECTROSCOPY

被引:31
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作者
KNOTEK, ML
HOUSTON, JE
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.571429
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:544 / 547
页数:4
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