CHARACTERISTICS OF MICROPLASMAS IN HIGH-VOLTAGE SILICON P-N-JUNCTIONS

被引:0
|
作者
KUZMIN, VA [1 ]
KRYUKOVA, NN [1 ]
KYUREGYAN, AS [1 ]
SOROKIN, YG [1 ]
机构
[1] VI LENIN ELECT ENGN INST,MOSCOW,USSR
来源
SOVIET PHYSICS SEMICONDUCTORS-USSR | 1976年 / 10卷 / 07期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
引用
收藏
页码:766 / 769
页数:4
相关论文
共 50 条