ASPECTS PHYSICO-CHIMIQUES DE LA PREPARATION DE COUCHES MINCES SEMICONDUCTRICES PAR CONDENSATION DE PLASMAS FROIDS

被引：0
作者：
SAINTMARTIN, BL
PERNY, G
SAMIRANT, M
VANDENBE.P
机构：
来源：
REVUE DE PHYSIQUE APPLIQUEE | 1966年 / 1卷 / 03期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
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页码：230 / +
页数：1
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共 14 条
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