SIMULATING MICRO-ELECTROMECHANICAL SYSTEMS

被引：3
作者：
PELZ, G
BIELEFELD, J
ZAPPE, FJ
ZIMMER, G
机构：
来源：
IEEE CIRCUITS AND DEVICES MAGAZINE | 1995年 / 11卷 / 02期
关键词：
D O I：
10.1109/101.366116
中图分类号：
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ; 0809 ;
摘要：
[No abstract available]
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页数：4
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