MORPHOLOGICAL AND FRICTIONAL BEHAVIOR OF SPUTTERED MOS2 FILMS

被引：125

作者：

SPALVINS, T

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(82)90208-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：17 / 24

页数：8

共 8 条

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