APPLICATION OF REFLECTION COEFFICIENT DIP TO LAYER THICKNESS MEASUREMENT BY ACOUSTIC MICROSCOPE

被引：3

作者：

TAKEUCHI, E ^{[1
]}

TSUKAHARA, Y ^{[1
]}

HAYASHI, E ^{[1
]}

MASUDA, H ^{[1
]}

TANI, Y ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TOKYO,INST IND SCI,MINATO KU,TOKYO 113,JAPAN

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS | 1985年 / 24卷

关键词：

D O I：

10.7567/JJAPS.24S1.190

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：190 / 192

页数：3

共 7 条

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