MECHANICAL-PROPERTIES OF VACUUM-DEPOSITED METAL-FILMS .1. COPPER-FILMS

被引:31
作者
HENNING, CAO
BOSWELL, FW
CORBETT, JM
机构
[1] UNIV WATERLOO,DEPT PHYS,WATERLOO,ONTARIO,CANADA
[2] UNIV PORT ELIZABETH,PORT ELIZABETH,SOUTH AFRICA
来源
ACTA METALLURGICA | 1975年 / 23卷 / 02期
关键词
D O I
10.1016/0001-6160(75)90181-9
中图分类号
TF [冶金工业];
学科分类号
0806 ;
摘要
引用
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页码:177 / 185
页数:9
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