INFLUENCE DES CARACTERISTIQUES DU PLASMA INITIATEUR SUR LA FORMATION DES COUCHES MINCES DOXYDES DE CUIVRE DANS LA PULVERISATION CATHODIQUE REACTIVE

被引：7
作者：
PERNY, G
LAVILLES.B
机构：
来源：
JOURNAL DE PHYSIQUE | 1964年 / 25卷 / 12期
关键词：
D O I：
10.1051/jphys:019640025012099300
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共 13 条
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