SCANNING CAPACITANCE MICROSCOPY

被引：195
作者：
MATEY, JR
BLANC, J
机构：
来源：
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1985年 / 57卷 / 05期
关键词：
D O I：
10.1063/1.334506
中图分类号：
O59 [应用物理学];
学科分类号：
摘要：
引用
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页码：1437 / 1444
页数：8
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