INORGANIC-ION BEAM RESIST FOR ADDITIVE PLATING OF METALLIC INTERCONNECTS

被引：3

作者：

ESKILDSEN, SS

SORENSEN, G

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.95775

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1101 / 1102

页数：2

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共 5 条

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