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APPLICATION OF SI-MBE FOR INTEGRATED-CIRCUITS
被引：0
作者：
KASPER, E
WORNER, K
机构：
[1] AEG TELEFUNKEN,FORSCHUNGSINST,D-7900 ULM,FED REP GER
[2] TELEFUNKEN ELECTR GMBH,D-7100 HEILBRONN,FED REP GER
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：C83 / C84
页数：2
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