SUBMICROMETER MICROELECTRONICS DIMENSIONAL METROLOGY - SCANNING ELECTRON-MICROSCOPY

被引：59

作者：

POSTEK, MT ^{[1
]}

JOY, DC ^{[1
]}

机构：

[1] AT&T BELL LABS, MURRAY HILL, NJ 07974 USA

来源：

JOURNAL OF RESEARCH OF THE NATIONAL BUREAU OF STANDARDS | 1987年 / 92卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.6028/jres.092.018

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：205 / 228

页数：24

共 41 条

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