SOLID-PHASE EPITAXY OF AMORPHOUS-SILICON DEPOSITED OVER SIO2 WINDOWS

被引:0
作者
WANG, YY
CHEUNG, NW
SADANA, DK
STRATTMAN, M
机构
[1] UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
[2] UNIV CALIF BERKELEY LAWRENCE BERKELEY LAB,BERKELEY,CA 94720
[3] CHARLES EVANS & ASSOCIATES,SAN MATEO,CA 94402
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:C99 / C99
页数:1
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