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SOLID-PHASE EPITAXY OF AMORPHOUS-SILICON DEPOSITED OVER SIO2 WINDOWS
被引:0
作者
:
WANG, YY
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0
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0
机构:
UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
WANG, YY
CHEUNG, NW
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机构:
UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
CHEUNG, NW
SADANA, DK
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UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
SADANA, DK
STRATTMAN, M
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机构:
UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
STRATTMAN, M
机构
:
[1]
UNIV CALIF BERKELEY,DEPT ELECT ENGN & COMP SCI,BERKELEY,CA 94720
[2]
UNIV CALIF BERKELEY LAWRENCE BERKELEY LAB,BERKELEY,CA 94720
[3]
CHARLES EVANS & ASSOCIATES,SAN MATEO,CA 94402
来源
:
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY
|
1983年
/ 130卷
/ 03期
关键词
:
D O I
:
暂无
中图分类号
:
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
:
081704 ;
摘要
:
引用
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页码:C99 / C99
页数:1
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