OPTICAL-WAVEGUIDE CHARACTERISTICS OF REACTIVE DC-SPUTTERED NIOBIUM PENTOXIDE FILMS

被引：41

作者：

AAGARD, RL ^{[1
]}

机构：

[1] HONEYWELL CORP,RES CTR,10701 LYNDALE AVE S,BLOOMINGTON,MN 55420

来源：

APPLIED PHYSICS LETTERS | 1975年 / 27卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1063/1.88304

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：605 / 607

页数：3

相关论文

共 6 条

[1] CHENG YC, 1974, J ELECTRON MATER, V3, P36
[2] OPTICAL PROPAGATION IN SHEET AND PATTERN GENERATED FILMS OF TA2O5
HENSLER, DH
CUTHBERT, JD
MARTIN, RJ
TIEN, PK
[J]. APPLIED OPTICS, 1971, 10 (05) : 1037 - +
[3] The Mechanism of Reactive Sputtering
Hollands, E.
Campbell, D. S.
[J]. JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE, 1968, 3 (05) : 544 - 552
[4] REACTIVELY SPUTTERED OXIDE FILMS
LIEBERMAN, ML
MEDRUD, RC
[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1969, 116 (02) : 242 - +
[5] LIGHT WAVES IN THIN FILMS AND INTEGRATED OPTICS
TIEN, PK
[J]. APPLIED OPTICS, 1971, 10 (11): : 2395 - &
[6] LUNEBURG LENS FOR OPTICAL-WAVEGUIDE USE
ZERNIKE, F
[J]. OPTICS COMMUNICATIONS, 1974, 12 (04) : 379 - 381