OXYGEN PRECIPITATION ENHANCED WITH POINT-DEFECTS IN SILICON

被引:0
作者
HARADA, H [1 ]
ABE, T [1 ]
CHIKAWA, J [1 ]
机构
[1] SHIN ETSU HANDOTAI CO,ANNAKA,GUNMA 37901,JAPAN
关键词
D O I
暂无
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
摘要
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页码:C99 / C99
页数:1
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