INFLUENCES OF MOLECULAR REFLECTION ON THE LIFT-OFF PATTERN EDGE QUALITY

被引：1

作者：

ARAI, K ^{[1
]}

YANAGAWA, F ^{[1
]}

KUROSAWA, S ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPON TELEGRAPH & TEL PUBL CORP,MUSASHINO ELECT COMMUN LAB,MUSASHINO,TOKYO 180,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1984年 / 2卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1116/1.582858

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：658 / 664

页数：7

共 8 条

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