AN ALIGNMENT SYSTEM FOR SYNCHROTRON RADIATION X-RAY-LITHOGRAPHY

被引：21

作者：

ITOH, J

KANAYAMA, T

ATODA, N

HOH, K

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583964

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：409 / 412

页数：4

共 5 条

[1]

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ITOH, J ;

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