EVIDENCE FOR FREE CARBON IN AMORPHOUS OMCVD SILICON-RICH SIXC1-X COATINGS

被引：4
作者：
MESTARI, A
MAURY, F
MORANCHO, R
机构：
来源：
JOURNAL DE PHYSIQUE | 1989年 / 50卷 / C-5期
关键词：
D O I：
10.1051/jphyscol:1989592
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页数：8
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