NEW SEMI-AUGER MICROANALYZER WITH UHV CAPABILITY

被引：5

作者：

ISHIDA, T ^{[1
]}

UCHIYAMA, M ^{[1
]}

ODA, Z ^{[1
]}

HASHIMOTO, H ^{[1
]}

机构：

[1] NIPPON ELECT VARIAN LTD,TOKYO,JAPAN

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1976年 / 13卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568974

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：711 / 715

页数：5

共 8 条

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