CHEMICAL SPUTTERING OF TUNGSTEN AT ELEVATED TEMPERATURES

被引:24
作者
WINTERS, HF
BILLS, DG
DONALDSON, EE
DENISON, DR
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1702685
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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