PARAMETER AND REACTOR DEPENDENCE OF SELECTIVE OXIDE RIE IN CF4+H2

被引：64

作者：

EPHRATH, LM

PETRILLO, EJ

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2123494

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：2282 / 2287

页数：6

共 6 条

[1]

AITKEN JM, 1981, EL SOC EXT ABSTR, P768

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EPHRATH, LM ;

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[6]

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